? 測量視野 1~10mm
? 精度最高可達20με, 范圍0.005%~500%
? 芯片翹曲精度0.1um
? 2D、3D坐標，位移，變形
? 多種應變張量
? 彈性模量，泊松比，n值，r值，屈服強度
? 材料參數(shù)測定 CTE
? 高精度光刻標定元件
? 顯微自動標定技術，顯微制斑技術
? 剛性位移消除技術，起霧抑制技術， 熱氣流抑制技術
? 熱學研究，溫度箱（-190～600℃）
? 微小材料力學測試，試驗機（5000 N）